臭氧的产生机理：

　　虽然有若干机理可能同电晕内臭氧的形成有关，但 ① 式特殊反应途径被认为是主要的

e+O2 →2O ＋ e        ①

利用高速电子轰击氧气，其分解成氧原子。高速电子具有足够的动能（ 6～7eV ） ,紧接着通过三体碰撞反应形成臭氧。

O+O2 +M→O3 ＋ M      ②

式中 M是气体中任何其它气体分子，不过与此同时，原子氧和电子也同样同臭氧反应形成氧气。

O+O3 →2O2           ③

e+O3 →O+O2 +e       ④ 　　此外，电晕内的气体是处于可促进臭氧分解反应的高温下，所以净臭氧产量或出口产气组成是形成和分解臭氧所有反应的总和。净产率依众多因素而变，包括：原料气的氧气含量和温度、原料气含的污染物、达到的臭氧浓度、电晕中的功率密度、冷却剂的温度和流量及冷却系统的效率。这些因素都影响着实用的、经济上有吸引力的臭氧发生器和系统的设计。