光化学法 – 紫外线臭氧发生器
此方法是光波中的紫外光会使氧气分子 O2 分解并聚合成臭氧 O3，大气上空的臭氧层即是由此产生的。
波长 λ ＝185nm(10 -9 m) 的紫外光效率*高，此时，光量子被 O2 吸收率*大。其反应基本过程为：
O2＋ hr→ O+O
O2 +O+M→ O3+M
hr－紫外光量子
M－存在的任何惰性物体，如反应器器壁、氮、二氧化碳气体分子等。
使用 185nm紫外光产生臭氧的光效率为 130gO3 /kw·h ，是比较高的。但目前低压汞紫外灯的电－光转换效率很低，只为 0.6 ％～ 1.5％，则紫外法产生臭氧的电耗高达 600kwh/kgO3 ，即 1.5gO3 /kw · h，工业应用价值不大。
紫外法产生臭氧的优点是对湿度、温度不敏感，具有很好的重复性；同时，可以通过灯功率线性控制臭氧浓度、产量。这两个特性对于臭氧用于人体**与作为仪器的臭氧标准源是非常合适的。